美國吉時利（Keithley）儀器公司， 日前發(fā)布ACS（Automated ChARacterization Suite）自動特征分析套件集成測試系統(tǒng)。該測試系統(tǒng)實現(xiàn)器件級、圓片級和黑盒級半導(dǎo)體特征分析工作。
在統(tǒng)一自動特征分析套件中、吉時利ACS集成測試系統(tǒng)整合各種測試硬件，具有以下測量能力：
· 吉時利4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)具有I-V源測量功能和專業(yè)脈沖測試工具包，例如用于先進半導(dǎo)體材料測試的4200-PIV工具包。
· 2600系列數(shù)字源表®測試儀具有TSP-LinkTM和測試腳本處理器（TSP）TM，可在運行狀態(tài)下的NBTI測試或圓片級器件特征分析等應(yīng)用中實現(xiàn)可擴展的I-V通道系統(tǒng)、高速并行測量和復(fù)雜測試序列等功能。
· 2400系列數(shù)字源表®測試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅(qū)動器測試等領(lǐng)域。
· 此外ACS集成測試系統(tǒng)還為用戶提供可選擇的開關(guān)、C表和脈沖發(fā)生器等附件。
ACS集成測試系統(tǒng)具備兩類配置：基本臺式配置，和用于生產(chǎn)環(huán)境集成的全高度機架式配置。
吉時利新型ACS系統(tǒng)非常適合技術(shù)研發(fā)、工藝研發(fā)（TD）、質(zhì)量可靠性保證（QRA）和小規(guī)模生產(chǎn)測試等領(lǐng)域的半導(dǎo)體參數(shù)特征分析工作。
圓片級或黑盒級自動化測量工作常具有諸多特點，包括需要測試和采集建模和工藝鑒定所需大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計樣本，以及最大限度工具利用率。在圓片級，吉時利ACS集成測試系統(tǒng)具有圓片描述工具（Wafer Description Utility）和圓片繪圖功能。用戶能夠方便地創(chuàng)建帶有集成測試規(guī)劃的圓片描述文件。帶有顏色編碼圓片圖能夠在執(zhí)行測試過程中實時刷新，顯示Pass/Fail情況和清晰可見的測試結(jié)果，確保高產(chǎn)能測試輸出。
該系統(tǒng)另一創(chuàng)新之處在于采用交互式探針控制器。用戶利用ACS軟件控制圓片運動，在測試開發(fā)過程中及真實結(jié)構(gòu)下驗證測試配置方案，并在批量處理情況下定位到圓片問題區(qū)域，進行手工測試。其中提供全系列驅(qū)動器能夠無縫集成各種半自動和全自動探針。
吉時利ACS集成測試系統(tǒng)同樣為用戶提供吉時利半導(dǎo)體應(yīng)用專業(yè)技術(shù)支持和功能定制支持，包括測試例程開發(fā)（例如宏、腳本和自定義GUI）、互連方案（包括電纜、開關(guān)、探針卡適配）以及安裝、培訓和應(yīng)用服務(wù)。
